目前全球通用的潔凈室等級標準為ISO 14644-1，取代了舊版美國聯(lián)邦標準209E。ISO等級從1級（最潔凈）到9級（最臟），以每立方米空氣中特定粒徑顆粒的最大允許數(shù)量為判斷依據(jù)。例如ISO 5級對應舊標準的“百級”，要求≥0.5μm顆?！?520個/m3。選擇潔凈度等級應根據(jù)生產(chǎn)工藝需求，盲目提高等級會大幅增加建造成本和運行能耗。