在高等級(jí)潔凈室（ISO 5級(jí)以下），回風(fēng)不直接排走，而是通過(guò)“回風(fēng)夾墻”（或稱技術(shù)夾層）與“高架地板”配合構(gòu)建循環(huán)風(fēng)路。送風(fēng)經(jīng)天花板FFU向下，穿過(guò)潔凈區(qū)，然后從地面多孔高架地板進(jìn)入下技術(shù)夾層，再沿墻內(nèi)夾道返回到空調(diào)回風(fēng)管。這種設(shè)計(jì)讓氣流垂直向下流動(dòng)，不產(chǎn)生亂流渦旋。高架地板開孔率一般為17%-25%，需耐受推車與設(shè)備載荷。下方夾層還可以敷設(shè)管道電線，方便維護(hù)。